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電性量測與光學量測系統
探針量測平台(IV Curve & CV Testing)
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電性量測與光學量測系統 探針量測平台(IV Curve & CV Testing)
EMP100C
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產品編號: EMP100C
■Piece ~ 4"
■Chuck Travel (X - Y) 760mm" x 500mm"
■行程 X-Y 為快速同軸滑台
■Z軸Up-Down可微調20mm(Option)
■Chuck Theta ~ max 30 deg
■chuck可接出地線
■Chuck 樣品真空吸附結構
(不包含Vaccum Pump配件)
■顯微鏡萬用固定架
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